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Ugelli spruzzatori a dispersione di atomizzazione ad ultrasuoni a bassa potenza da 30 Khz personalizzati
Articolo n.:FSW-3002-L
Frequenza: 30khz
Potenza: 1-15 W
Quantità di spruzzatura continua (max): 0,5-20 ml/min
Larghezza di spruzzatura effettiva: 40-80 mm
Viscosità della soluzione: inferiore o uguale a 30 cps
Applicazione: adatto per rivestimenti fotoresist su chip semiconduttori
Descrizione:
Ugelli di spruzzatura a dispersione con atomizzazione a ultrasuoni a bassa potenza da 30 Khz personalizzati utilizzano aria/gas a bassa-pressione per generare modelli di spruzzatura ampi e uniformi, con ciascun ugello che raggiunge un massimo di 25 centimetri (9,8 pollici) a seconda della distanza dal substrato. La velocità del flusso d'aria è controllabile per consentire un impatto basso o elevato dello spruzzo atomizzato sul prodotto o sul substrato. Utilizzando più ugelli in serie è possibile ottenere una larghezza infinita. Il design dell'ugello di diffusione viene utilizzato per modelli ampi con elevata ripetibilità in ugelli sottili.
L'applicazione tipica degli ugelli spruzzatori a dispersione di atomizzazione a ultrasuoni a bassa potenza personalizzati da 30 Khz è il rivestimento di fotoresist su chip semiconduttori, dove il fotoresist viene spruzzato sui chip semiconduttori. A causa della diffusione rotazionale della nebbia emessa dall'ugello a ultrasuoni del tipo a diffusione, è possibile formare una pellicola fotoresist uniforme non solo sul piano del wafer, ma anche sulle pareti laterali e sugli angoli della microstruttura del wafer. Inoltre, gli ugelli a diffusione ultrasonica possono essere utilizzati anche per rivestimenti di celle solari a film sottile, rivestimenti di celle solari in titanato di calcio, rivestimenti di pellicole di trasmissione e riflessione AR, rivestimenti di pellicole isolanti, rivestimenti di rivestimento superidrofobici, rivestimenti di flusso PCB e altre applicazioni.
parametri:
Vantaggi:
1. Spruzzatura su ampia superficie, larghezza di spruzzatura: 40-150 mm
2. Coating uniformity:>Uniformità del 95%.
3. Risparmio di materie prime: il tasso di utilizzo delle materie prime è superiore all'85%, ovvero 4 volte superiore rispetto alla tradizionale spruzzatura a due fluidi
4. Elevata precisione nel controllo dello spessore del rivestimento: può preparare rivestimenti che vanno da 20 nm a decine di micrometri, con un controllo preciso dello spessore del rivestimento
5. Particelle atomizzate fini
6. Atomizzazione uniforme delle particelle
7. Può essere spruzzato in modo intermittente o continuo
8. Flusso di spruzzo estremamente basso
9. Non bloccherà l'ugello
10. Ugello anticorrosione
11. Alta precisione e spruzzatura controllabile
Requisiti dei parametri:
1. Frequenza ultrasonica
Inibitore di corrosione a bassa viscosità:
Impostazione della frequenza: è possibile utilizzare frequenze più alte (come 40kHz o superiori) per garantire un delicato effetto di atomizzazione.
Inibitore di corrosione ad alta viscosità:
Impostazione della frequenza: potrebbe essere necessario ridurre la frequenza (ad esempio 30kHz) per aumentare l'intensità della vibrazione del liquido e migliorare l'effetto di atomizzazione.
2. Pressione dell'ugello
Inibitore di corrosione a bassa viscosità:
Impostazione della pressione: in genere è possibile utilizzare una pressione dell'ugello inferiore (ad esempio 0,1-0,3 MPa) perché il liquido è incline all'atomizzazione.
Inibitore di corrosione ad alta viscosità:
Impostazione della pressione: potrebbe essere necessario aumentare la pressione dell'ugello (ad esempio 0,3-0,5 MPa) per superare l'elevata viscosità del liquido e garantire un buon effetto di spruzzatura.
3. Velocità di spruzzatura
Inibitore di corrosione a bassa viscosità:
Impostazione della velocità: la velocità di spruzzatura può essere opportunamente aumentata per evitare il rivestimento eccessivo e il gocciolamento.
Inibitore di corrosione ad alta viscosità:
Impostazione della velocità: la velocità di spruzzatura deve essere ridotta per garantire un rivestimento uniforme ed evitare gocciolamenti o cedimenti.
4. Spessore del rivestimento
Inibitore di corrosione a bassa viscosità:
Impostazione dello spessore: lo spessore del rivestimento può essere relativamente sottile, solitamente nell'ordine di pochi micrometri.
Inibitore di corrosione ad alta viscosità:
Impostazione dello spessore: è possibile impostare un rivestimento leggermente più spesso, in genere tra pochi micrometri e una dozzina di micrometri.
5. Temperatura e umidità ambientale
Temperatura:
Temperature più elevate generalmente riducono la viscosità del resist, il che è utile per la spruzzatura; Ma è necessario garantire che non superi l'intervallo di resistenza al calore-del resist.
Umidità:
Dovrebbe essere mantenuto entro un intervallo appropriato, poiché un'umidità eccessiva può influenzare le prestazioni di polimerizzazione dell'inibitore di corrosione.
6. Tempo di rivestimento
Inibitore di corrosione a bassa viscosità:
Può abbreviare i tempi di rivestimento grazie alla sua buona fluidità.
Inibitore di corrosione ad alta viscosità:
Potrebbe essere necessario prolungare il tempo di rivestimento per garantire un rivestimento uniforme

Applicazione:




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