Macchina per rivestimento a spruzzo ad ultrasuoni per applicazioni su semiconduttori e fotoresist
Nella fabbricazione dei semiconduttori, l'applicazione di fotoresist, poliimmidi e altri film sottili funzionali richiede una precisione assoluta. Anche variazioni microscopiche nello spessore della pellicola possono portare a guasti catastrofici dei componenti. Utilizzando un avanzatoMacchina per rivestimento a spruzzo ad ultrasuoni consente ai produttori di semiconduttori di ottenere rivestimenti a film sottile- altamente uniformi su topografie complesse, tra cui fosse profonde e microstrutture ad-alto-rapporto d'aspetto che il tradizionale rivestimento a rotazione non è in grado di coprire in modo efficace.
Superare i limiti dello Spin Coating
Anche se il rivestimento a rotazione è un processo standard nel settore, è intrinsecamente problematico con substrati non-planari, substrati quadrati o wafer con cavità profonde, che spesso portano a bordi irregolari o tasche vuote. Una macchina per la modellatura degli ugelli a ultrasuoni risolve questo problema erogando una nebbia atomizzata altamente controllata direttamente sulle aree target. Lo spruzzo delicato e a bassa-velocità consente al liquido di depositarsi uniformemente all'interno delle micro-scanalature senza lasciare sacche d'aria o causare accumuli di materiale.
Progettato per ambienti di camere bianche-ad alta affidabilità
La produzione di semiconduttori richiede apparecchiature che funzionino in modo affidabile in condizioni rigorose di camera bianca.DIVERTENTEprogetta e produce apparecchiature a ultrasuoni-di livello commerciale che si integrano perfettamente nelle linee automatizzate di lavorazione dei wafer. I nostri sistemi sono costruiti utilizzando materiali di elevata-purezza per prevenire la contaminazione chimica e garantire una fluidodinamica coerente durante i lunghi cicli di produzione.
DIVERTENTEforniscono modelli standard e configurazioni personalizzate e su misura per adattarsi allo spazio della camera bianca, ai requisiti di viscosità del liquido e alla produttività target. Lascia che ti aiutiamo a massimizzare la resa dei wafer e a ridurre il costoso consumo di prodotti chimici.
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